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利用壓力傳感器提高工業設備性能的2種方法
來源:上海自動化儀表有限公司作者:發表時間:2019-09-24 09:22:50【小中大】
壓力傳感器用于將流體壓力轉換為可監視和控制系統的電信號,并且現如今壓力傳感器已成為保護和優化工業設備的寶貴工具。下面為您介紹利用壓力傳感器提高工業設備性能的2種方法。
1.創新的施工方法
精密的設計和彈性是高度創新和精心控制的施工方法的結果,例如化學氣相沉積(CVD)和濺射薄膜的先進應變計技術。CVD是制造應變傳感器的特別有效的方法,其利用壓力隔膜來檢測運動,并將該信息轉換成電信號。使用CVD生產的器件通常是緊湊的,并且可以提供高精度和優異的滯后特性。這些傳感器大批量制造在晶圓上,并使用多晶硅沉積在不銹鋼基板上,采用化學銑削的應變計圖案。
與CVD工藝一樣,濺射薄膜也是最近壓力傳感器成功的必要條件。在濺射過程中,所需材料的固體靶被激發的粒子轟擊,導致原子從靶釋放。濺射薄膜工藝沉積使用這些釋放的原子形成薄膜。在壓力傳感器的制造中使用濺射薄膜工藝提供了靈敏且堅固的隔膜,適合直接接觸幾乎所有的油,液體和氣體。
壓力傳感器化學制造方面的這些創新已經與電子學領域同樣重要的進步合作,大大提高了傳感器的能力。例如,近年來為電子封裝提供壓力傳感器使得每個傳感器都能夠被調諧,以滿足每個客戶的確切要求。

2.先進的ASIC技術
這些電子封裝采用先進的ASIC(專用集成電路)技術,可以增強功能和性能。它們也可以定制,提供有效和方便的選擇,在不需要復雜和昂貴的控制技術的情況下降低成本。引入ASIC的經濟優勢非常顯著。結合批量制造技術的改進,ASIC技術的引入在許多情況下將壓力傳感器的單位成本降低了10倍。因此,很多制造商已經能夠開始銷售壓力傳感器了,這些壓力傳感器提供的性能水平以前與以300英鎊售價的單位相關,而壓力傳感器只需30英鎊。
將濺射薄膜和CVD技術與ASIC電子封裝相結合,可以為越來越多選擇研究壓力傳感技術優勢的工程師提供精確性和可靠性的強大組合。目前可用的各種壓力傳感器產品將允許工程師在更具挑戰性的環境中應用壓力傳感器,以及組件的模塊化特性,這增加了壓力傳感器容納中可用選項的多樣性。
壓力傳感器將繼續改進和發展,提供更高水平的數據采集和系統控制,既可以應用于目前使用它們的許多行業,也可以應用于將來采用它們的行業。
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